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這是四川致研科技完成的一個(gè)非標(biāo)定制產(chǎn)品——真空鍍膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備，使用客戶是新加坡的科研用戶。

基本參數(shù)：

1）真空，極限真空：2×10-4Pa。

2）恢復(fù)真空：從大氣→2×10-3Pa≤10min。

3）蒸發(fā)室，腔體尺寸：500x500x700

4）工件夾具：外徑φ100mm。

5）夾具轉(zhuǎn)速：N=9-300rpm

6）電源：220v/50Hz

7）總功率：3kw

8）溫濕度數(shù)據(jù)記錄頻率：1次/分（容量>6小時(shí)）

9）手動(dòng)排氣閥直徑：25mm

10）頂部機(jī)械壓力表測(cè)量范圍：-0.1Mpa-0

11）平板電極材質(zhì)：紫銅（300x300x2）

12）膜厚測(cè)試儀測(cè)量范圍：20nm-1μm

13）起泡器溫控精度：±0.5℃

14）起泡器外接接口尺寸：1/4寸