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伯東代理移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392

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上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時間使其成為同類型檢漏儀中的佼者!

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移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市( ASM 380 升級款)

Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!
上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時間使其成為同類型檢漏儀中的佼者!
移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可*旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動性強(qiáng)
5. *符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
檢漏儀 ASM390

上海伯東 Pfeiffer 移動型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對比:

型號

ASM 390

ASM 392

ASM 380

檢測氣體

4He, 3He, H2

小檢測漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍式: 1X10-8 mbar l/s

對氦氣的抽速

10 l/s

25 l/s, 內(nèi)置2臺分子泵

7 l/s

前級泵抽速

35 m3/h

進(jìn)氣口大壓力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

無校準(zhǔn)的啟動時間(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

進(jìn)氣口

DN 40 ISO-KF

響應(yīng)時間

< 1 s

Interface,  選配

RS-232, I/O, Ethernet

噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

重量

125 kg

130 kg

110 kg

尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm


移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應(yīng)用領(lǐng)域: 可用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)以及其他要求*的應(yīng)用

移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 目前在售型號:

型號

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ASM 390, 通用電壓

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ASM 390, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF

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ASM 390, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF

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ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板

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ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF

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ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF

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ASM 390, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板,以太網(wǎng)

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ASM 390, 通用電壓,可配置的 I/O 接口板,以太網(wǎng), 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF

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ASM 392, 通用電壓

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ASM 392, 通用電壓, 可連接的排氣管 DN 40 ISO-KF

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ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板

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ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 以太網(wǎng)

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ASM 392, 通用電壓, 可配置的 I/O 接口板, 以太網(wǎng), 可連接的排氣管 DN 25 ISO-KF

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