| 參考價 | 面議 |
EXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測顯微鏡，可以實現(xiàn)從50倍到100萬倍的超大范圍的觀察和測量。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，*光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外，對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象，還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉（DIC）
觀察中，可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
| 主機 規(guī)格 | ||||
| LSM部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：405 nm半導體激光、檢出系統(tǒng)：光電倍增管 | ||
| 總倍率 | 108～17,280X | |||
| 變焦 | 光學變焦：1～8X | |||
| 測量 | 平面測量 | 重復性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.1μm | |
| 正確性 | 測量值的±2%以內 | |||
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | ||
| 行程 | 10mm | |||
| 內置比例尺 | 0.8nm | |||
| 移動分辨率 | 10nm | |||
| 顯示分辨率 | 1nm | |||
| 重復性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm、20x：σn-1＝0.04μm | |||
| 正確性 | 0.2+L/100 μm以下（L＝測量長度） | |||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：白色LED、檢出系統(tǒng)：1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
| 變焦 | 碼變焦：1～8X | |||
| 物鏡轉換器 | 6孔電動物鏡轉換器 | |||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR、內置偏振光片單元 | |||
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT平面復消色差透鏡20X、50X、100X | |||
| Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
| XY載物臺 | 100 x 100 mm（電動載物臺） | |||
| SPM部分 | 運行模式 | 接觸模式、動態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式（KFM）*、磁力模式（MFM）* | ||
| 位移檢出系統(tǒng) | 光杠桿法 | |||
| 光源 | 659 nm半導體激光 | |||
| 檢出設備 | 光電檢測器 | |||
| 大掃描范圍 | X-Y：大 30 μm x 30 μm、Z：大 4.6 μm | |||
| 安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整工裝夾具預對位，更換支架時無需光學調整。 | |||
| 系統(tǒng) | 總重量 | 約440 kg（不包含電腦桌） | ||
| I額定輸入 | 100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz | |||
*該功能為選項功能。
| 物鏡 規(guī)格 | ||||
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（W.D.） | 數(shù)值孔徑（N.A.） |
| MPLFLN5X | 108-864X | 2,560-320μm | 20.0mm | 0.15 |
| MPLAPON20XLEXT | 432-3,456X | 640-80μm | 1.0mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080-8,640X | 256-32μm | 0.35mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160-17,280X | 128-16μm | 0.35mm | 0.95 |
| 微懸臂 規(guī)格 | |||||||||
| 用途 | 型號 | 類型 | 探針數(shù)量 | 微懸臂 | 探針 | 材質 | 金屬膜 涂層 | ||
| 共振頻率 (kHz) | 彈簧常數(shù) (N/m) | 高度 (μm） | 前端半徑 (nm） | 探針／ 微懸臂 | 探針涂層／ 反射涂層 | ||||
| 動態(tài)模式／ 相位模式 | OMCL-AC160TS-C3 | 標準硅膠 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 無 / Al |
| OMCL-AC160BN-A2 | 高縱橫比硅膠 | 12 | 300 | 42 | 9 | 8 | Si / Si | 無／無 | |
| OMCL-AC240TS-C3 | 低彈簧常數(shù)硅膠 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 無／Al | |
| 接觸模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 標準氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 無／Au |
| 表面電位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 電氣測量硅膠 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
• 微懸臂、探針的機械特性及尺寸均為代表值。
• 微懸臂非常小，請注意不要傷到眼睛或不小心吞咽。
• 電流模式、磁力模式中使用的微懸臂的詳細信息，請咨詢經(jīng)銷商。
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