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KSI V400E是一款高產(chǎn)能聲學顯微鏡，可以對塑封集成電路IC、IGBT大功率模組， 各型電容、以及銅基板器件進行無損檢測，分析器件內(nèi)部之分層、裂縫、空洞等 缺陷。 X軸和Y軸均是新型超高速線性伺服電機，磁懸浮結(jié)構(gòu)，掃描速度快，比常規(guī)機器 要快30%以上同時經(jīng)久耐用。 能對器件作多種掃描模式，如點掃描(A-)、縱剖掃描（B-）、橫剖掃描（C-）、多 層橫剖掃描(X-）等。
大掃描范圍：400mm x 400mm；（常 規(guī)機器一般約是300mm x 300mm）
磁懸浮超高速機型，掃描速度：2米/秒； 掃描加速度：30米/秒2，KSI一臺機器相 當于常規(guī)機器2臺的工作量。(常規(guī)機器小 于1米/秒)
高掃描重復精度：+/-0.1微米（常規(guī)機器 只能做到0.5微米）
低噪防誤判探頭（常規(guī)機器沒有， 無法在高速掃描時去除水花導致的誤判）
1.電子和聲學顯微系統(tǒng)單元
⑴放大倍率：625倍
⑵探頭頻率：5MHz~400MHz可選
⑶探頭焦距：2mm ~ 50mm 可選
⑷模數(shù)轉(zhuǎn)換AD卡 1GHz
⑸聲學信號激發(fā)和接收裝置帶寬：5MHZ ~ 555MHz
⑹圖像顯示器24英寸2個
⑺圖像格式：BMP、JPG、sam原廠格式
⑻圖像分辨率：3.2萬像素 x 3.2萬像素
2.機械掃描單元
⑴X/Y/Z軸驅(qū)動系統(tǒng)是直線磁懸浮電機
⑵X軸和Y軸的掃描速度：2000mm/s，加速度是30米/平方秒
⑶掃描范圍：400mm x 400mm
⑷X軸和Y軸的精度：+/-0.1微米
⑸Z軸是自鎖步進電機驅(qū)動
⑹Z軸調(diào)焦行程：100mm
⑺檢件臺：標準、托盤、真空吸附、定制等可選
⑻樣品槽：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)
3.軟件單元：
⑴主控軟件：Ksi Vision
⑵掃描模式：A-、B-、C-、D-、G-、P-、Tray-、X-、Z-、3D-
⑶眾多可選配置：透射模組/三維圖像分析軟件/濾波器等
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