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BX53M奧林巴斯金相顯微鏡

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奧林巴斯BX53M為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計,并擴展了其功能,以滿足更廣泛的應用和檢查技術(shù)的要求

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奧林巴斯BX53M為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設(shè)計,并擴展了其功能,以滿足更廣泛的應用和檢查技術(shù)的要求。奧林巴斯公司具有生產(chǎn)光學元件的悠久歷史,無論用目鏡觀察,還是通過顯示器觀察,都具備*的圖像畫質(zhì)。
全面可定制性模塊化設(shè)計可以為用戶靈活地構(gòu)建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。
顯微檢查任務常常需要用很長的時間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像,以及進行必要的測量,從而得到令人滿意的報告。用戶有時需要投入時間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓,或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。

奧林巴斯BX53M通過其優(yōu)良的設(shè)計和便捷的控制功能,簡化了復雜的顯微檢查任務。用戶不需要長時間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性,減少了人為錯誤。

暗場觀察
暗場能夠觀察標本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會反射這種光,而平整的部位則顯得很暗,因此缺陷部位就會清晰地顯示出來。用戶甚至可以識別出極細微的劃痕,或小到8nm級別的缺陷 – 比光學顯微鏡的分辨能力還要小。因此,暗場是檢測標本上細微劃痕或缺陷,以及鏡面標本(包括晶圓)的理想工具。

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微分干涉觀察
微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù),這種技術(shù)把明場觀察所不能檢測到的標本高度差,變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像,改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光,并有三種專門定制設(shè)計的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細微高度差的標本的理想工具,包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。

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偏光觀察
這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由一套濾色片(檢偏鏡和起偏鏡)產(chǎn)生的偏光。標本的特性直接影響顯微鏡反射光的強度。這種技術(shù)適用于金相組織(比如球墨鑄鐵上石墨生長的形態(tài))、礦石、LCD和半導體材料。

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熒光觀察
該技術(shù)用于通過專用濾色片激發(fā)塊照明,使標本能夠發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長的光),特定的激發(fā)塊可用于特定的應用。它適合于檢查半導體晶圓上的異物、光阻殘留物,以及通過熒光染料檢測裂縫??梢赃x配復消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱,以補償從可見光到近紅外光的色差。

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紅外光觀察
IR觀察是非破壞性地檢查可以透過紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。

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透射光觀察
對于透明樣品,比如LCD、塑料和玻璃材料,可以使用各種聚光鏡進行透射光觀察。組建一個光學系統(tǒng),實現(xiàn)透射光明場和偏光進行樣品檢查非常方便。

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奧林巴斯BX53M規(guī)格(用于反射和反透射組合的金相觀察)

光學系統(tǒng)

UIS2光學系統(tǒng)(無限遠校正)

顯微鏡機架

照明

反射/透射

反射

對焦

行程:25 mm
每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程:100 μm
最小刻度:1 μm
配有上限限位器,>于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié)

行程:30 mm
每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程:200 μm
最小刻度:2 μm
配有用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié)

樣品高度

35 mm (不含高度適配器)
75 mm (
BX3M-ARMAD)

65 mm (不含高度適配器)
105 mm (
BX3M-ARMAD)

取決-安裝配置

觀察筒

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目
正像:三目、傾斜式雙目

超寬視野FN26.5

倒像:三目
正像:三目、傾斜式三目

反射光照明

常規(guī)觀察技術(shù)

BX3M-RLAS-S
編碼,白光LEDBF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置)
BX3M-KMA-S
白光LED,BF/DIC/POL/MIX FSAS(帶對中裝置)
BX3M-RLA-S
100W/50W
鹵素燈,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置), BF/DF切換時中密度濾色片聯(lián)動

-

U-KMAS
白光LED,100W鹵素燈
光纖照明,BF/DIC/POL/MIX

熒光

BX3M-URAS-S
100W汞燈,4孔位分光B, G, U+BF)
FS
,AS(帶對中裝置),帶光閘裝置

透射光

白光LED
阿貝/長工作距離聚光鏡

-

物鏡轉(zhuǎn)換器

用于BF

六孔,對中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉(zhuǎn)換器)

用于BF/DF

六孔,五孔,對中五孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉(zhuǎn)換器)

載物臺

同軸左手(右手)操作載物臺:
76mm×52mm
,采用扭力調(diào)節(jié)
大型同軸左手(右手)操作載物臺:
100mm×105mm
,帶Y軸鎖定裝置
大型同軸右手操作載物臺:
150mm×100mm
,帶扭力調(diào)節(jié)和Y軸鎖定裝置

-

重量

大約18.3 kg
(顯微鏡機架7.6 kg

大約15.8 kg
(顯微鏡機架7.4 kg

大約11.1 kg
(顯微鏡機架1.9 kg

BX53M規(guī)格(用于紅外觀察)


BX53MRF-S

BXFM

IR觀察筒

寬視野FN22

倒像:三目

反射光照明

IR觀察

BX3M-RLA-S IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR,AS(帶對中裝置)
BX3M-URAS-S IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR,AS(帶對中裝置)

U-KMAS
IR
用100W/50W鹵素燈,BF/IR

物鏡轉(zhuǎn)換器

用于BF

六孔,對中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉(zhuǎn)換器)

Stage (X × Y)

同軸左手(右手)操作載物臺:
76mm×52mm,采用扭力調(diào)節(jié)
大型同軸左手(右手)操作載物臺:
100mm×105mm,帶Y軸鎖定裝置
大型同軸右手操作載物臺:
150mm×100mm,帶扭力調(diào)節(jié)和
Y軸鎖定裝置

重量

大約18.9 kg(顯微鏡機架7.4 kg)

大約11.6 kg(顯微鏡機架1.9 kg)

BX53M規(guī)格(用于偏光觀察)


BX53MTRF-S

偏光中間附件
(U-CPA或U-OPA)

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目
正像:三目、傾斜式雙目

勃氏鏡

可對焦(僅適用于U-CPA)

勃氏鏡視場光闌

直徑?3.4mm(固定)(僅適用于U-CPA)

切換正像鏡檢和錐光鏡檢時加入或退出勃氏鏡

滑塊位置 ● 進入
滑塊位置 ○ 退出 (僅適用于U-CPA)

檢偏鏡插槽

旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插槽(U-AN360P-2)

檢偏鏡(U-AN360P-2)

可旋轉(zhuǎn)360°的撥盤 ,可旋轉(zhuǎn)的最小角度0.1°

對中式物鏡轉(zhuǎn)換器(U-P4RE)

四孔,附對中裝置:1/4λ偏振片(U-TAD),
試板(U-TP530) 和各種補色器均可連接補色器適配器(U-TAD)使用。

載物臺(U-SRP)

帶3點對中功能的偏光專用旋轉(zhuǎn)載物
可旋轉(zhuǎn)360°,可鎖定在任何位置,360°每刻度遞增1°
(最小分辨率6’,使用游標尺)
45°鎖定功能 可安裝移動標本夾(U-FMP)

聚光鏡(U-POC-2)

色差無應力聚光鏡(U-POC-2),帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉(zhuǎn)360°起偏鏡。 “0°”刻度處的鎖定機構(gòu)可調(diào)節(jié)。
NA0.9(頂部鏡頭內(nèi)擺) NA0.18(頂部鏡頭外擺)
徑光闌:直徑從2mm到21mm可調(diào)節(jié)

重量

大約16.2 kg(顯微鏡機架7.6 kg)




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