溫度范圍：室溫～600 ℃

觀察光孔：φ2.5 mm    

加 熱 體：承樣平臺

窗口至樣品距離：4.5 mm     

探 針 數(shù)：2~4個，BNC 或SMA 或LEMO或 2mm接口

升降溫速率：80 ℃/min 

測    溫：熱電偶        

溫度顯示與穩(wěn)定度：0.1/0.3 ℃

溫度控制：調(diào)節(jié)器精度0.2級，PID人工智能控制，50段程序

溫控軟件：中英文界面切換，實時操控，多點(diǎn)溫度校正、可設(shè)置溫速、控溫區(qū)間等，工藝曲線顯示與記錄

實驗環(huán)境：腔體密閉，可通氣氛

冷卻方式：循環(huán)水冷

整套配置：熱臺、循環(huán)冷卻泵，熱臺溫度控制儀，溫度控制軟件，制箔器等