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日立掃描電子顯微鏡SU1510

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日立掃描電子顯微鏡SU1510采用精巧化設(shè)計(jì),比同類設(shè)備分辨率和配置相同情況下,體積縮減20%,節(jié)約空間,標(biāo)配二次電子和背散射探測(cè)器,便于形貌和襯度的同時(shí)觀察,具有日立鎢燈絲電鏡通有的四偏壓、四孔光闌、高分辨背散射、長(zhǎng)襯管等設(shè)計(jì)。

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日立掃描電子顯微鏡SU1510

產(chǎn)品介紹:

采用精巧化設(shè)計(jì),比同類設(shè)備分辨率和配置相同情況下,體積縮減20%,節(jié)約空間,標(biāo)配二次電子和背散射探測(cè)器,便于形貌和襯度的同時(shí)觀察,具有日立鎢燈絲電鏡通有的四偏壓、四孔光闌、高分辨背散射、長(zhǎng)襯管等設(shè)計(jì)。

主機(jī)寬度僅為55cm,體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

 

日立掃描電子顯微鏡SU1510主要特點(diǎn):

1、儀器主體比過(guò)去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。

2、標(biāo)配低真空功能,可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無(wú)噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。

3、樣品臺(tái)可載入zui大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進(jìn)行EDX分析。

4、強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能,可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。

5、分子泵真空系統(tǒng),潔凈無(wú)污染。

 

技術(shù)參數(shù) :

二次電子分辨率

3.0nm(高真空,30kV)

背散射電子分辨率

4.0nm(低真空:60Pa,30kV)

倍率

5 ~ 300,000倍

加速電壓

0.3~30 kV

樣品臺(tái)

X  0~80mm

Y  0~40mm

Z  5~50mm

T  -20~80mm

R 360°

樣平臺(tái)控制

手動(dòng)(可選:2軸馬達(dá))

zui大載入樣品尺寸

直徑:153mm

zui大觀察范圍

直徑:126mm(XYR并用)

zui大樣品高度

60mm (WD=15mm)

低真空范圍

6-270Pa(從菜單設(shè)定)

燈絲

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

物鏡光闌

4孔可變光闌

槍偏壓

固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓、自動(dòng)4偏壓

檢測(cè)器

二次電子檢測(cè)器,高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

EDX分析位置

WD=15mm,TOA=35°

真空系統(tǒng)

分子泵1臺(tái),機(jī)械泵1臺(tái)

安全措施

停電,漏電,自動(dòng)保護(hù)

 




應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體

生物

高分子


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