Trimos TRscan非接觸式微觀形貌測量儀，全自動(dòng)共焦三維測量。專用于刀具制造工業(yè)，根據(jù)多點(diǎn)譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動(dòng)聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點(diǎn)譜線共焦傳感器和圖像處理系統(tǒng)，可以對(duì)各種復(fù)雜的刀刃及其模具進(jìn)行準(zhǔn)確的測量，具有完善的分析功能模塊，對(duì)其表面形貌進(jìn)行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測量。
主要特點(diǎn)：
- 強(qiáng)大的多點(diǎn)共焦技術(shù)，最準(zhǔn)確的測量出表面形貌數(shù)據(jù)（角度、半徑、輪廓、粗糙度）
- 通過光學(xué)方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shù)
- 測量速度快，可整合成一個(gè)高效的在線測量系統(tǒng)
- 適用于陡峭的斜面，爬坡角度高達(dá)85度
- 垂直分辨率高達(dá)30nm
- TRSCAN是可同時(shí)獲得表面形貌和真實(shí)顏色信息的3D測量設(shè)備，測量更加精確靈活
- 通過腳本自動(dòng)測量，更適用于批量測量，并生成圖形或數(shù)字報(bào)告
- 粗糙度和輪廓測量符合EN/ISO4287標(biāo)準(zhǔn)
- 可用于選定區(qū)域的面積及體積計(jì)算
- 可選配轉(zhuǎn)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)三維掃面
- 可用于復(fù)雜幾何外形的形狀分析，可測量角度、半徑等表面特征
技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍X | 100mm | ||
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍Y | 固定式 | ||
| 工作臺(tái)移動(dòng)范圍Z | 240mm | ||
| XYZ軸最小位移量 | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
| XY軸導(dǎo)軌直線度 | 1.5μm | ||
| 工件重量 | 20kg | ||
| 測量原理 | 非接觸式多點(diǎn)譜線共焦傳感器 | ||
| 光源 | 白色LED共軸光，高強(qiáng)光，數(shù)字可控 | ||
| 色譜共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
| 厚度最小分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測量厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
