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DSX1000數(shù)碼顯微鏡

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DSX系列數(shù)碼顯微鏡將我們的光學技術(shù)與的數(shù)字技術(shù)融為一體

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DSX 系列數(shù)碼顯微鏡將我們的光學技術(shù)與的數(shù)字技術(shù)融為一體。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品,包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單,只要放上樣品,就可以輕松地完成 3D 觀察、測量、報告自動生成等一系列操作。

您只需要一臺 DSX1000 顯微鏡就可滿足各種觀察和分析需要,改善檢驗的工作流程。鏡頭數(shù)量增加至 15 個,涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法,對各種樣品進行觀察與測量。比如突出顯示樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺可以分別進行± 90°的自由角度調(diào)節(jié),從而滿足對各種復(fù)雜外形樣品的任意角度觀察。另外,新開發(fā)的算法可以實現(xiàn)更快的 3D 圖像采集,與奧林巴斯傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡相比,速度快了近十倍。最后,我們將根據(jù)每位用戶的工作環(huán)境校準顯微鏡,以幫助用戶實現(xiàn)精確、高效的觀察和測量。

主要特點

  • 放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺。

  • 可迅速切換物鏡和六種觀察方式。

  • 遠心光學系統(tǒng)保證了在整個放大范圍內(nèi)的測量準確度。

1、放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡新增了 5 個物鏡,物鏡總數(shù)達到 15 個。20-7,000X 的放大倍率范圍實現(xiàn)了精確觀察,而長工作距離物鏡則實現(xiàn)了對不規(guī)則樣品的觀察,例如電路板和機加工零件。顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉(zhuǎn)± 90°,更易于觀察和分析薄樣品,如晶圓,或大型樣品,如汽車部件。 

可調(diào)節(jié)的頭部和載物臺

顯微鏡頭部和載物臺可以分別旋轉(zhuǎn)± 90°

使用高分辨率長工作距離的物鏡

長工作距離使用戶能夠觀察不規(guī)則形狀的電子基板。 

207,000X 放大倍率下的晶圓圖像對比

2、可迅速切換物鏡和六種觀察方式

顯微鏡的電動變焦光路結(jié)合了的觀察功能,可實現(xiàn)六種觀察方法和對比度增強功能:明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對比度增強功能可以突出樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。例如,此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規(guī)則形狀與細微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對象。

太陽能電池圖像對比

(左圖:明場觀察,右圖:偏光觀察)

單側(cè)光線照射突出了表面的不規(guī)則形狀。該項技術(shù)適用于觀察不規(guī)則形狀、扭曲的樣品和槽口。

集成電路 (IC) 芯片圖像對比

(左圖:常規(guī);右圖:帶對比度增強功能)

色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。

3、遠心光學系統(tǒng)保證了在整個放大范圍內(nèi)的測量精確性。*

汽車制造商、精密設(shè)備和其他產(chǎn)品制造商必須精確測量和分析產(chǎn)品的規(guī)格,以證明產(chǎn)品的安全性。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡使用遠心光學系統(tǒng),在整個放大范圍內(nèi)圖像失真極低,實現(xiàn)了有保證的準確度和重復(fù)性的高精度測量。為了確保準確度,在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后,奧林巴斯的技術(shù)人員將根據(jù)客戶使用環(huán)境對每臺顯微鏡進行校準。 

遠心光學系統(tǒng)和非遠心光學系統(tǒng)的圖像采集對比圖

改變聚焦位置不會改變圖像大小。

此新聞稿中的公司名稱和產(chǎn)品名稱分別是其對應(yīng)公司的商標或注冊商標。

*必須由奧林巴斯進行校準。


DSX1000數(shù)碼顯微鏡規(guī)格


DSX10-SZH DSX10-UZH
光學系統(tǒng) 光學系統(tǒng) 遠心光學系統(tǒng)
變焦倍率 10X (電動)
變焦放大方式 電動
校準 自動
鏡頭附件 快速切換,編碼型鏡頭附件,自動更新放大倍率和視野信息
總放大倍率(顯示器上) 7000X
工作距離 (W.D.) 66.1 mm – 0.35 mm
準確度和重復(fù)性(X-Y 平面)*1  放大倍率準確度:3%
放大倍率重復(fù)性:± 2% = 3σ n -1
重復(fù)性(Z 軸)*2 重復(fù)性(高度): σ n – 1 ≤ 1 μm
照像機 圖像傳感器 1 / 1.2 英寸,235 萬像素彩色 CMOS
冷卻 珀爾帖冷卻
幀速率 60 fps()
常規(guī) 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
精細 不可用 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
超精細 不可用 3600 × 3600 (1: 1) / 4800 × 3600 (4: 3)
照明器 彩色光源 LED
壽命 60,000 小時(設(shè)計值)
觀察方法 BF (明場) 標準
OBQ (偏斜) 標準
DF (暗場) 標準
LED 光源四分區(qū)環(huán)形照明
MIX (明場 + 暗場) 標準
明場 + 暗場 同時照明
PO (偏光) 標準
DIC (微分干涉) 不可用 標準
對比度增強 標準
景深擴展 不可用 標準
透射照明 標準*3
聚焦裝置 驅(qū)動方式 電動
行程 101 mm (電動)

*1 必須由奧林巴斯或代理商的服務(wù)技術(shù)人員進行校準。為了保證 XY 的準確度,需要用 DSX-CALS-HR(校準標樣)進行校準。
*2 當使用 20X 或以上的物鏡時。
*3 需要使用選配件 DSX10-ILT。

物鏡 DSX10-SXLOB DSX10-XLOB UIS2
物鏡 樣品高度 50 mm 115 mm 145 mm
樣品高度(自由角度觀察) 50 mm
齊焦距離 140 mm 75 mm 45 mm
鏡頭附件 鏡頭附件一體形 可用
總放大倍率 20X – 1400X 42X – 5600X 23X*4 – 7000X
實際視場 19,200 µm – 270 µm 9,100 µm – 70 µm 17,100 µm – 50 µm
適配器 擴散照明裝置(可選) 可用 不可用
防反射照明裝置(可選) 可用 不可用
鏡頭附件 安裝物鏡數(shù)量 1 個(物鏡和鏡片附件一體型) 2 個
物鏡盒 可保存三個物鏡附件

*4 使用 MPLFLN1.25X 時的總放大倍率

載物臺 DSX10-RMTS DSX10-MTS U-SIC4R2
XY 載物臺:電動/ 手動 電動(帶旋轉(zhuǎn)功能) 電動 手動
XY 行程 行程優(yōu)先模式:100 mm × 100 mm
旋轉(zhuǎn)優(yōu)先模式:50 mm× 50 mm
100 mm × 100 mm 100 mm × 105 mm
旋轉(zhuǎn)角度 行程優(yōu)先模式:±20°
旋轉(zhuǎn)優(yōu)先模式:±90°
不可用
旋轉(zhuǎn)角度顯示 不可用
承重 5 kg (11 lb) 1 kg (2.2 lb)


機架 正置式機架 傾斜式機架
Z 軸行程 50 mm (手動)
傾斜觀察角度 不可用 ±90°
傾斜角度顯示 不可用
傾斜方式 不可用 手動、固定/ 解除手柄


顯示器 23 英寸平板顯示器
分辨率 1920 (H) × 1080 (V)


全系統(tǒng) 正置式機架系統(tǒng) 傾斜式機架系統(tǒng)
重量(鏡架、觀察頭、電動載物臺、顯示器和控制臺) 43.7 kg (96.3 lb) 46.7 kg (103 lb)
功耗 100 – 120 V / 220 – 240 V, 1.1 / 0 .54 A, 50 / 60 Hz



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