移動端
直播推薦
回放
回放
企業(yè)動態(tài)
- 天津安沃斯科技有限公司佳航的全自動電位滴定儀JH-T6
- 浙江華洋藥業(yè)有限公司采購佳航的全自動旋光儀Digipol-P630D
- 遼寧恒益特殊材料有限公司采購佳航的差示掃描量熱儀JH-DSC6
- 智易時代環(huán)境空氣顆粒物（PM10）連續(xù)自動監(jiān)測系統(tǒng)通過中國環(huán)境監(jiān)測總站認證
- 深圳技術大學采購華測儀器Huace FE-3000鐵電分析儀，賦能前沿材料研究
- 山東地區(qū)的超聲波氣象站新聞介紹會成功舉辦
- 科研困境如何解？卓立漢光HiperS光譜儀以創(chuàng)新技術突破關稅制約
- 江蘇農(nóng)牧科技職業(yè)學院采購佳航的水分測定儀JHS-50-1
推薦展會
某光學器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于光學器件精密加工, 通過蝕刻工藝提高光學器件的聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.
Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數(shù)
Φ4 inch X 12片 | 基片尺寸 | Φ4 inch X 12片 Φ5 inch X 10片 Φ6 inch X 8片 |
均勻性 | ±5% | |
硅片刻蝕率 | 20 nm/min | |
樣品臺 | 直接冷卻,水冷 | |
離子源 | Φ20cm 考夫曼離子源 |
Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數(shù):
離子源型號 | RFICP 220 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >800 mA |
離子動能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 20 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 10-40 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
中和器 | LFN 2000 |
采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 可以使 PV、RMS分別為1.347μm和340nm的粗糙表面, 通過蝕刻其粗糙度可降低至75nm和13nm; PV、RMS分別為61nm和8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm和1nm. 該刻蝕工藝能有效提高光學器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.
若您需要進一步的了解詳細產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :
上海伯東 : 羅先生
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明“來源：儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
浙公網(wǎng)安備 33010602002722號
第四屆全國光譜大會
展會城市：株洲市展會時間：2025-05-08