Rtec公司的WLI1000白光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)沿著縱軸捕獲一系列位置的光強(qiáng)數(shù)據(jù)。通過白光干涉圖的形狀，干涉圖的局部相位或者是二者的結(jié)合來確定表面位置。本公司還有激光共焦，白光共焦，拉曼光譜儀等，可以把這些設(shè)備自由組合在一起，以實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求

• 本公司的WLI1000白光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)沿著縱軸捕獲一系列位置的光強(qiáng)數(shù)據(jù)。通過白光干涉圖的形狀，干涉圖的局部相位或者是二者的結(jié)合來確定表面位置。本公司還有激光共焦，白光共焦，拉曼光譜儀等，可以把這些設(shè)備自由組合在一起，以實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求
  WLI1000有如下特點(diǎn)
  快速直觀的操作
  較高的計(jì)算程序，精確的高測(cè)量速度和簡(jiǎn)便的操作軟件，使用戶能夠快速的分析和創(chuàng)建報(bào)告
  多個(gè)物鏡
  該WLI-1000 帶有6物鏡轉(zhuǎn)輪，包括多個(gè)物鏡：長(zhǎng)焦，短焦，不同數(shù)值孔徑，投射鏡頭等
  電子器件
  *的控制器，低機(jī)械噪聲，自校準(zhǔn)系統(tǒng)，可選波長(zhǎng)，64位并行處理器，標(biāo)準(zhǔn)分辨率達(dá)到1920*1920
  硬件
  WLI-1000能夠被固定到全自動(dòng)化的平臺(tái)，高強(qiáng)度LED10年保修，高級(jí)精加工零部件，低能耗，遠(yuǎn)程訪問，內(nèi)置相機(jī)側(cè)視圖，有效照明等。
  軟件
  三維虛擬軟件
  影像分析
  多種標(biāo)準(zhǔn)，粗糙，平面，波浪以及其他表面參數(shù)
  微粒（粒子）和細(xì)孔分析
  力曲線分析
  附帶傅里葉分析
  過濾
  用戶界面報(bào)告的創(chuàng)建和編輯
  影像編輯特征-光，顏色等
  尺寸，表面積，體積，承載比分析
  紋理計(jì)算，分類，其他紋理分析
  光譜和分形分析
  *的統(tǒng)計(jì)分析
  能夠輸出原始數(shù)據(jù)，影像，全部報(bào)告
  數(shù)個(gè)可用的附加功能
  參數(shù)：
  內(nèi)校準(zhǔn)
  4百萬像素
  可選波長(zhǎng)
  高強(qiáng)度長(zhǎng)壽命LED
  1920*1920成像
  64位*處理器
  低機(jī)械噪聲
  并行處理
  6物鏡轉(zhuǎn)輪
  技術(shù)規(guī)格

  Vertical Resolution 垂直分辨率	0.1nm 0.1nm
  Turret 轉(zhuǎn)輪	upto 6 objective turret （manual or automatic） 6鏡頭轉(zhuǎn)輪（自動(dòng)或手動(dòng)）
  Scan Range 掃描范圍	Up to 150mm x 150mm zui高達(dá)150mmx150mm
  Sample thickness 試樣厚度	upto 100mm zui高達(dá)100mm
  FOV 視場(chǎng)	upto 10mm zui高達(dá)10mm
  Objectives 物鏡	10x,50x 10倍，50倍
  Z focussing range Z軸方向聚焦范圍	0.1 nm to 10mm 0.2 0.1nm到10mm
  Scanning area 掃描區(qū)域	150x150mm  150x150mm
  Tilt 傾斜角	+/- 7 degree +/-7度
  Rotation （theta） 平臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍	360 Degree 360度
  Pixel 像素	Standard 1024 x 1024 標(biāo)準(zhǔn)1024x1024