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NanoCalc薄膜反射光譜儀系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 海洋光學(xué)亞洲公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2018/1/17 10:02:31
  • 訪問次數(shù) 6068

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上市時(shí)間:2018-01-17

創(chuàng)新點(diǎn):薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。

薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。

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NanoCalc 薄膜反射測量系統(tǒng)

薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測量,對單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測量軟件的不同,可以分析單層或多層膜厚。

產(chǎn)品特點(diǎn)

可分析單層或多層薄膜
分辨率達(dá)0.1nm
適合于在線監(jiān)測
操作理論

zui常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測量。

查找n和k值

可以進(jìn)行多達(dá)三層的薄膜測量,薄膜和基體測量可以是金屬、電介質(zhì)、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫,用戶也可以自己添加和編輯。

應(yīng)用

NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測量,包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。

 

NanoCalc系統(tǒng)

NC-UV-VIS-NIR

重量:

250-1100 nm

厚度:

10 nm-70 µm

光源:

氘鹵燈

 

NC-UV-VIS

重量:

250-850 nm

厚度:

10 nm-20 µm

光源:

氘鹵燈

 

NC-VIS-NIR

重量:

400-1100 nm

厚度:

20nm-100µm (可選1µm-250µm)

光源:

鹵燈

 

NC-VIS

重量:

400-850 nm

厚度:

50 nm-20μm

光源:

鹵燈

 

NC-NIR

重量:

650-1100 nm

厚度:

70 nm-70μm

光源:

鹵燈

 

NC-NIR-HR

重量:

650-1100nm

厚度:

70 nm-70μm

光源:

鹵燈

 

NC-512-NIR

重量:

900-1700 nm

厚度:

50 nm-200μm

光源:

高亮度鹵燈

 

NanoCalc規(guī)格

入射角:

90°

層數(shù)

3層以下

需要進(jìn)行參考值測量

透明材料:

傳輸模式

粗糙材料

測量速度:

100ms - 1s

在線監(jiān)測

可以

公差(高度):

參考值測量或準(zhǔn)直(74-UV)

公差(角度):

參考值測量

微黑子選項(xiàng):

配顯微鏡

顯示選項(xiàng):

配顯微鏡

定位選項(xiàng):

6"和12" XYZ 定位臺

真空

可以


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