BaseMate系列9300隔振平臺(tái)是為較大型設(shè)備提供靈活多樣的隔振選擇而設(shè)計(jì)的。通過(guò)16個(gè)經(jīng)過(guò)時(shí)間考驗(yàn)的設(shè)計(jì)模塊，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用需要找到較*的配置方案。BaseMate平臺(tái)系統(tǒng)相比于其他地基平臺(tái)系統(tǒng)具有*的。

BaseMate系列9300隔振平臺(tái)是為較大型設(shè)備提供靈活多樣的隔振選擇而設(shè)計(jì)的。通過(guò)16個(gè)經(jīng)過(guò)時(shí)間考驗(yàn)的設(shè)計(jì)模塊，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用需要找到較*的配置方案。BaseMate平臺(tái)系統(tǒng)相比于其他地基平臺(tái)系統(tǒng)具有*的。

BaseMate設(shè)計(jì)特點(diǎn)是通過(guò)一個(gè)二級(jí)平臺(tái)擺錘技術(shù)和空氣耦合系統(tǒng)結(jié)合，提供*的隔振控制。首平臺(tái)，是一個(gè)低剛度/高性能主動(dòng)空氣水平支持系統(tǒng)，具有極低的垂直固有頻率，已達(dá)到大化垂直隔振。第二平臺(tái)使用三線擺組合裝置與空氣耦合系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)使用，提供穩(wěn)定的隔振源，達(dá)到極低的水平固有頻率。二者結(jié)合黏滯阻尼，大化隔振效率。由于BaseMate的擺錘組合裝置去掉了其他廠家都采用的邊角垂直提升，其產(chǎn)生的共振被消除，所以能夠立即達(dá)到*的隔振效果。

為了方便和穩(wěn)定性考慮，自動(dòng)水平儀和高度控制合并在一起。標(biāo)準(zhǔn)的BaseMate平臺(tái)是一個(gè)3英寸厚的剛性阻尼環(huán)氧復(fù)合“三明治”，其中1/2英寸厚的上下兩個(gè)鋼板，中間夾著2英寸厚的具有我們*的技術(shù)的約束阻尼墊層。

剛性可以與3英寸厚的固體鋼板相比較，但是重量只是鋼板的1/3，同時(shí)阻尼效果更好。平臺(tái)的結(jié)構(gòu)增強(qiáng)了非剛性較大儀器的基底，降低重心高度，以增強(qiáng)穩(wěn)定性。更大尺寸的平臺(tái)（7英尺以上）和其他設(shè)計(jì)的平臺(tái)，可以提供更厚的平臺(tái)（4-6英寸）可選非磁性材料裝配和Class10級(jí)無(wú)塵清潔室安裝。標(biāo)準(zhǔn)的毛載重可達(dá)25,000lbs（11,330kg），能使BaseMate*的適配大多數(shù)儀器的解決方案。

典型應(yīng)用：

SEM，TEM， CMM，光刻機(jī)，掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)等設(shè)備。

    空氣懸掛垂直隔振Air suspension forvertical isolation；

    鐘擺式懸掛增強(qiáng)水平隔振；

    優(yōu)異的阻尼；

    剛性阻尼平臺(tái)；

    相比設(shè)備名義高度增高4.5"；

    自動(dòng)水平校準(zhǔn)；

    超低固有頻率；

    許多標(biāo)準(zhǔn)儀器的預(yù)制設(shè)備；

    客戶可自定義形狀，圖樣和切口；

    提供靈活布局。

注：典型的性能表現(xiàn)是微擾動(dòng)下