熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器適用于OEM模塊集成的結(jié)構(gòu)極其緊湊的高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器；

從用來測量單一氣體的結(jié)構(gòu)極其緊湊的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器，到用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列產(chǎn)品都能滿足這些需求。

Axetris熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器：



    Axetris MFM/MFC 2000系列適用于OEM模塊集成的結(jié)構(gòu)極其緊湊的高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器；

    從用來測量單一氣體的結(jié)構(gòu)極其緊湊的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器，到用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列產(chǎn)品都能滿足這些需求。



技術(shù)優(yōu)點(diǎn)：
 

• 
  基于MEMS技術(shù)




• 
  極其緊湊的尺寸




• 
  高精度




• 
  快速響應(yīng)時(shí)間




• 
  多種氣體/多量程




• 
  模塊化




• 
  的*穩(wěn)定性



 

主要應(yīng)用：
 

• 
  分析儀器




• 
  氣相色譜儀




• 
  泄漏檢測




• 
  單一或者多種氣體的計(jì)量和控制




• 
  標(biāo)定和質(zhì)量控制




• 
  薄膜工藝控制