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Pura 密析爾高純氣露點變送器露點水分測定儀

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密析爾高純氣露點變送器露點水分測定儀，在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。

詳細(xì)信息 在線詢價

密析爾高純氣露點變送器露點水分測定儀，在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。



 

亮點

  • 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
  • 測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
  • 高度集成的采樣裝置
  • 模擬和數(shù)字輸出
  • 安裝簡便
  • VCR 過程接口
  • 設(shè)計緊湊小巧
  • 顯示/報警單元可選

Pura

密析爾高純氣露點變送器露點水分測定儀，技術(shù)指標(biāo)

傳感器
傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
量程-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài)標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機(jī)械性能
傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋
氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

無錫徽科特測控技術(shù)有限公司

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手機(jī)：13921186818

聯(lián)系人：孫經(jīng)理

電話：86-0510-82405517

傳真：86-0510-85382086

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