ELS-F125是Elionix推出的世界上加速電壓高達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)

ELS-F125具有以下優(yōu)點(diǎn)：

l 超高書(shū)寫(xiě)精度

- 5 nm 線寬精度 @ 125 kV

- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應(yīng)小化 @ 125 kV

l 高通量、均勻性好

- 超大視野書(shū)寫(xiě):500um視場(chǎng)下10 nm線寬

- 高束流下電子束直徑依然很小，高通量而不影響分辨率，2 nm 電子束直徑@ 1 nA

l 界面用戶友好

基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:

-簡(jiǎn)單易用的圖案設(shè)計(jì)功能

-易于控制的電子束條件

二、主要功能

l 主要應(yīng)用

納米器件的微結(jié)構(gòu)

集成光學(xué)器件，如光柵，光子晶體等

NEMS結(jié)構(gòu)，復(fù)雜精細(xì)結(jié)構(gòu)

光刻掩模板，壓印模板

l 技術(shù)能力

三、應(yīng)用