15 級的寬測量范圍較短的抽氣和響應時間

• 產(chǎn)品名稱：干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
• 訂貨號：tlyon000292
• 品牌名稱：美國INFICON

如果您發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品信息不準確，歡迎糾錯；或咨詢相關類別、品牌產(chǎn)品，請

干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。

通過結合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結構，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱，因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

• 15 級的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應時間
• 移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應時間
• 抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結果
• 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
• 旋轉式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
• 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進行測試
• 通過電子郵件進行軟件更新
• 含兩個燈絲離子源（3 年質保）的耐用質譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
• 內(nèi)部校準用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結果

典型應用

• 對半導體加工工具執(zhí)行維護作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用
• 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
• 內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

規(guī)格

類型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）低可檢漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦氣（真空模式）低可檢漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦氣（吸式）低可檢漏率	mbar•L/s	5E-8
MASSIVE 模式大進氣口壓力	mbar	1000
GROSS 模式大進氣口壓力	mbar	15
FINE 模式大進氣口壓力	mbar	2
ULTRA 模式大進氣口壓力	mbar	0.4
抽真空期間的抽氣能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
抽真空期間的抽氣能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
可檢測質量數(shù)		2,3,4 amu
質譜儀扇形場		180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
內(nèi)置校準漏孔	mbar•L/s	e-7
測試端口	DN 25 KF	1
可調觸發(fā)器		2
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
圖形記錄器輸出	V	2 x10
輸入/輸出		PLC compatible
輸入/輸出		Via I/O 1000 module
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10.....+40
保護類型		IP 20
重量
120
重量
120
重量
120
尺寸（長x寬x高）	mm	1050x472x987
尺寸（長x寬x高）
1050x472x987
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100
功耗	VA	1100

零件號

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號	明細
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號	明細
14005	SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長
14022	RC1000 extension cable, 8 m
14090	LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線
551-015	遙控器 RC1000WL，無線，包括無線發(fā)射機
551-020	RC1000WL 用無線發(fā)射機