氣溶膠納米噴印
納米印刷是柔性電子領(lǐng)域重要的區(qū)域性沉積技術(shù)， VSP-P1 全自動(dòng)納米研究平臺(tái)采用氣溶膠沖壓沉積技術(shù)，將原材料通過(guò)火花燒蝕的方式轉(zhuǎn)變成納米氣溶膠顆粒，并在真空系統(tǒng)配合下實(shí)現(xiàn)圖案的繪制。該方法避免了傳統(tǒng)噴墨打印需要導(dǎo)電油墨以及后續(xù)熱處理去除油墨的弊端，保證圖案的納米結(jié)構(gòu)保留，避免產(chǎn)生氣孔等缺陷。
VSP-P1 全自動(dòng)納米研究平臺(tái)
運(yùn)行原理
納米氣溶膠顆粒會(huì)通過(guò)火花燒蝕的方式在前端產(chǎn)生，顆粒經(jīng)由惰性氣體帶動(dòng)運(yùn)輸至噴嘴處，經(jīng)過(guò)真空系統(tǒng)作用，腔室的氣壓會(huì)保持在 10mbar 以下，而經(jīng)由噴嘴噴出的氣溶膠會(huì)在基底表面沖壓沉積。而利用 XYZ 軸控制噴嘴的移動(dòng)，即可實(shí)現(xiàn)圖案的繪制。
利用該方法，可輕松實(shí)現(xiàn)：
1. 金屬，合金，氧化物顆粒的印刷沉積
2. 無(wú)添加劑，無(wú)廢液
3. 一步沉積，設(shè)備模塊化，前端的氣溶膠發(fā)生器可獨(dú)立拆卸工作，進(jìn)行其它方向的納米研究
4. 顆粒初始粒徑可保持在 0-20nm 之間，形成多孔結(jié)構(gòu)
應(yīng)用領(lǐng)域
· 高通量合金催化劑的篩選
利用氣溶膠噴印在多個(gè)通道打印沉積比例不同的合金催化劑，從而快速考查電催化性能。該方法可用于在工業(yè)相關(guān)電流密度下的流體力學(xué)條件下制備和篩選電極材料，可用于確定催化劑和催化劑制備的穩(wěn)健性。Ni / Fe 的復(fù)合電極被用于進(jìn)行驗(yàn)證，64 個(gè)不同比例的催化陽(yáng)極電極在快速篩選后可得到反應(yīng)電位的變化。
SERS
表面增強(qiáng)拉曼光譜需要精細(xì)的 Au, Ag 等納米結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)低信號(hào)量化學(xué)物質(zhì)的靈敏檢測(cè)。利用氣溶膠噴印技術(shù)在基底表面快速繪制納米圖案，進(jìn)行拉曼光譜檢測(cè)。這種方法避免添加劑對(duì)檢測(cè)的干擾，在較低的溫度處理后便可進(jìn)行后續(xù)檢測(cè)。
納米印刷結(jié)構(gòu)
在對(duì)羅丹明 6G，PMBA，三聚氰胺的檢測(cè)中，標(biāo)準(zhǔn)基片表現(xiàn)出了優(yōu)異的信號(hào)增強(qiáng)性能。
氣體傳感器
金屬氧化物 (MOX) 氣體傳感器通過(guò)半導(dǎo)體金屬氧化物薄膜的電阻變化來(lái)檢測(cè)氣體，但氧化物涂層需要溫和的沉積，故而常用的 PVD 與 CVD 手段均不適用?，F(xiàn)有方法為利用溶膠凝膠法結(jié)合絲網(wǎng)印刷實(shí)現(xiàn)區(qū)域的沉積。利用氣溶膠噴印直寫(xiě)可以實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的印刷沉積，避免熱處理。
