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SEM3100 鎢燈絲掃描電子顯微鏡

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國儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡。觀察亞微米級(jí)的微觀結(jié)構(gòu)，放大倍數(shù)可達(dá)300000倍。此型產(chǎn)品具有快速更換燈絲的優(yōu)點(diǎn)。其分辨率可達(dá)3 nm，在自動(dòng)五軸樣品臺(tái)的配合下，非常適用于生產(chǎn)品質(zhì)控制及樣品篩選，適合傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡無法滿足需求的用戶。

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鎢燈絲掃描電子顯微鏡,國產(chǎn)掃描電鏡

SEM3100

 

SEM3100具有出色的成像質(zhì)量和豐富的擴(kuò)展性，將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發(fā)揮到極大。分辨率可達(dá)3 nm，超大樣品倉，可容納最大直徑為370mm的樣品，以及諸多細(xì)節(jié)功能設(shè)計(jì)和特色功能，助您在顯微成像的世界中盡情探索。

 

高性能高指標(biāo)

SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡，擁有超高的分辨率和出色的成像質(zhì)量。放大倍率連續(xù)可調(diào)，在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深，成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式，極大地?cái)U(kuò)展了SEM3100的應(yīng)用范圍。

 

豐富的擴(kuò)展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察，還可以進(jìn)行樣品表面的微區(qū)成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉，接口豐富，除支持常規(guī)的二次電子探測(cè)器（ETD）、背散射電子探測(cè)器（BSED）、能譜儀（EDS）外，也預(yù)留了諸多接口，諸如電子背散射衍射（EBSD）、波譜儀（WDS）、陰極熒光（CL）等探測(cè)器都可以在SEM3100上進(jìn)行集成。

 

背散射探測(cè)器

二次電子成像和背散射成像對(duì)比。背散射像下，樣品的荷電效應(yīng)明顯減弱，并且具有很好的成分襯度，適合進(jìn)行成分觀察。

 

能譜分析

水泥建筑材料SE和EDS分析結(jié)果，加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層

 

特色功能，更高的效率和更好的性能

光學(xué)導(dǎo)航

SEM3100標(biāo)配的倉內(nèi)攝像頭可拍攝高清樣品臺(tái)照片，助您快速定位樣品。

 

光學(xué)導(dǎo)航

 

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢(shì)

 

可通過旋鈕控制板或鼠標(biāo)滾輪/手勢(shì)快速調(diào)節(jié)聚焦和像散等參數(shù)，極大地提高成像效率。

 

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢(shì)

 

動(dòng)態(tài)像散

 

直觀反映像散程度，通過鼠標(biāo)點(diǎn)擊即可快速調(diào)節(jié)像散至最佳。

動(dòng)態(tài)圖


動(dòng)態(tài)像散

 

結(jié)果圖


動(dòng)態(tài)像散

 

快速調(diào)節(jié)圖像旋轉(zhuǎn)

 

拖動(dòng)一條線，圖像立刻“擺正角度”。


動(dòng)態(tài)圖


電平移

 

結(jié)果圖


電平移-結(jié)果圖


電子光學(xué)系統(tǒng)

分辨率                      3 nm @ 30 kV
放大倍率                  1 x~300,000 x
加速電壓                  1 kV~30 kV
電子槍類型               預(yù)對(duì)中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍
成像系統(tǒng)
探測(cè)器（標(biāo)配）        二次電子探測(cè)器 (ETD)
探測(cè)器（選配）        背散射電子探測(cè)器、能譜儀EDS等
圖像尺寸                  ≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式           TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式                  全自動(dòng)閥
渦輪分子泵              240 L/S
機(jī)械泵                     12 m3/h(50 Hz)
攝像頭                     光學(xué)導(dǎo)航   樣品倉內(nèi)監(jiān)控
樣品室真空度           高真空下優(yōu)于9 X 10-4 Pa
樣品臺(tái)配置             三軸自動(dòng)(標(biāo)配)   五軸自動(dòng)(選配)

北京國儀精測(cè)技術(shù)有限公司

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