美國(guó)四探針電阻率/方塊電阻測(cè)試儀
美國(guó)4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測(cè)試設(shè)備：280SI （普及型號(hào)）
· 測(cè)量尺寸：晶圓尺寸：2-8寸（333系列可測(cè)量大至12寸晶圓，1100系列可測(cè)量大至2160mmX2400mm平板系列）
方形片：大至156mm X 156mm；
· 測(cè)量范圍： 0.001歐姆/平方 至 800000歐姆/平方（標(biāo)準(zhǔn)型）；
可往下擴(kuò)展至：0.0001歐姆/平方，往上擴(kuò)展至8e9或8e11歐姆/平方。相對(duì)應(yīng)的電阻率，薄膜厚度根據(jù)不同材料不同應(yīng)用而不同，但都是以方塊電阻作為基礎(chǔ)設(shè)備自動(dòng)計(jì)算得出，注意這是選項(xiàng)價(jià)格要高不少，建議客戶(hù)按實(shí)際需求選擇購(gòu)買(mǎi)。
· 測(cè)量方式： 電腦程序自動(dòng)測(cè)量，或不連電腦單測(cè)量主機(jī)也可實(shí)現(xiàn)測(cè)量和數(shù)據(jù)顯示，此時(shí)非常適合測(cè)試不規(guī)整樣片單點(diǎn)測(cè)量，適合實(shí)際研究需要。
· 測(cè)量的數(shù)據(jù)： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測(cè)量程序。
· 測(cè)量的點(diǎn)數(shù)： 程序編排任意測(cè)量點(diǎn)位置及測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，對(duì)應(yīng)不同客戶(hù)不同測(cè)量要求任意編程測(cè)量點(diǎn)位置與數(shù)量。
· 測(cè)量的準(zhǔn)確度：<0.1% （標(biāo)準(zhǔn)模阻）；
· 測(cè)量重復(fù)性：<0.2% （特定片子）；
· 測(cè)量速度：>45點(diǎn)/分鐘；
· 測(cè)量數(shù)據(jù)處理：根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖，或按要求統(tǒng)計(jì)并輸出Excel格式文件；
· 邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣3mm以?xún)?nèi)區(qū)域都能測(cè)量；
· 探針材料：鎢鋼與硅片的接觸電阻小，且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍(lán)寶石材料，以確保長(zhǎng)時(shí)間使用后間距的一致性；
· 探針壓力可調(diào)范圍：90-200克之間可調(diào)；
· 可供選擇的探頭類(lèi)型：根據(jù)測(cè)試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號(hào)探頭選擇，另外還可提供專(zhuān)門(mén)為客戶(hù)定制的應(yīng)用特殊要求的探針，比如測(cè)試薄至30A的薄膜時(shí)需要使用MR型探頭，這是四探針設(shè)備供應(yīng)商少有能做到的。
· 設(shè)備應(yīng)用：
IC FAB/FP dispaly/LED：擴(kuò)散，離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試，薄膜電阻率或厚度測(cè)量等工序，如Intel，IBM，Motorola，TSMC，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...
材料類(lèi)研究：杜邦（中國(guó)），電力科學(xué)院，中科院，山東科學(xué)院，清華大學(xué)，北京大學(xué)，復(fù)旦大學(xué)，華師大，電子科大，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化所，質(zhì)檢所，光伏科學(xué)與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,Applied Materials, Materials Research...
新能源：尚德，晶澳，英利，阿特斯，天合，LDK，海潤(rùn)，騰暉，鑫輝，東磁，向日葵，奧特斯維，尖山，晶科，力諾，韓華，神舟，光為，艾力克，吉陽(yáng)，東營(yíng)，中盛，F(xiàn)irst solar,Solar world...
美國(guó)四探針電阻率/方塊電阻測(cè)試儀
· 客戶(hù)群廣：國(guó)內(nèi)已經(jīng)賣(mài)出近300臺(tái)之多，*累計(jì)各種型號(hào)四探針設(shè)備近千臺(tái)。
· 使用成本
4D公司所提供的探針質(zhì)保次數(shù)是25萬(wàn)次，而實(shí)際從客戶(hù)反饋的信息是壽命達(dá)到100萬(wàn)次以上，甚至150萬(wàn)次以上。同時(shí)4D還為客戶(hù)提供探頭的探針更換服務(wù)，大大降低客戶(hù)的使用成本。
· *高
國(guó)內(nèi)行業(yè)內(nèi)有幾百臺(tái)的占有率，公司品牌4D已經(jīng)成為四探針的代名詞；
根據(jù)應(yīng)用不同工藝要求對(duì)應(yīng)的探針類(lèi)型詳細(xì)說(shuō)明：
測(cè)量數(shù)據(jù)電腦圖（2D/3D）
各類(lèi)型四探針設(shè)備說(shuō)明：
根據(jù)客戶(hù)不同使用要求有更多選擇
* 使用液體金屬汞探針替代傳統(tǒng)硬探針的四探針設(shè)備，如：M4PP 3093;
* 針對(duì)III IV族化合物材料，應(yīng)用“dynamic AC waveform”克服測(cè)量的接觸電阻問(wèn)題，該型號(hào)為：680I；
* 根據(jù)不同應(yīng)用要求，可增加的功能有：溫度控制/補(bǔ)償，邊緣修正，樣品臺(tái)定制，自動(dòng)化要求定制，探頭自動(dòng)切換，通訊接口擴(kuò)展，測(cè)量范圍擴(kuò)展等。
