產(chǎn)品型號(hào)

   PCE-3

主要特點(diǎn)

   1、使用可調(diào)射頻電源， 可以設(shè)置低、中、高功率。

   2、桌上型設(shè)備，結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。

技術(shù)參數(shù)

   1、輸入電壓：110V/220V、50Hz/60Hz （請(qǐng)?zhí)崆斑x定），小于100W

   2、射頻輸出頻率：13.56MHz

   3、等離子直流電源：低功率設(shè)定—680V，10mA，6.8W；中功率設(shè)定—700V，15mA，10.5W；

　　                 高功率設(shè)定—720V，25mA，18W

   4、等離子腔室：Ø75mm×165mm，耐熱玻璃，前蓋可拆卸

   5、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、空氣、混合氣體等，主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

   6、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar），可選擇數(shù)字真空表，針閥控制氣體流

　　量，采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：200mm×250mm×210mm；重量：8kg（不含泵）

注意事項(xiàng)

　不能使用可燃性氣體

可選配件

　本司研發(fā)的電阻真空計(jì)

　以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量?jī)x器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1     Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測(cè)量。