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LCL-5A 自動橢圓偏振測厚儀

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儀器簡介:橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學(xué)無損檢測方法,在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景

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儀器簡介:

    橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學(xué)無損檢測方法,在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。它已越來越多的用于介電、半導(dǎo)體、金屬、有機(jī)物等各種材料的光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特征、生長過程和材料質(zhì)量的快速測試與研究。儀器采用消光式橢圓偏振方式測量,精度高、自動控制,光源采用氦氖激光,波長精度高,儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要,軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求。



實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2、掌握如何利用設(shè)備測試樣品的方法



主要配置和參數(shù):

序號

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

測量范圍

1nm-4000nm

2

測量最小值

≤1nm

3

鍍膜折射率范圍

1.300-10.000

4

入射角

40°-90°誤差≤0.05°

5

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°-180°

6

偏振器步進(jìn)角

0.0375°/步

7

測量精度

±0.5nm(10nm,±0.5nm)

8

光學(xué)中心高度

75mm

9

工作臺直徑

Φ10mm-Φ120mm

10

厚度

≤10mm









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