該裝置主要由尾氣儲(chǔ)氣罐、壓力系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、變頻壓縮機(jī)、鋼瓶組成，尾氣儲(chǔ)氣罐一端與六氟化硫試驗(yàn)尾氣入口鏈接,用于將六氣化硫氣體暫時(shí)保存，尾氣儲(chǔ)氣罐的另一端與變頻壓縮機(jī)相連接,用于六氟化硫氣體的壓縮，變頻壓縮機(jī)的另一端與鋼瓶連接，最終壓縮后的六氟化硫氣體存儲(chǔ)在鋼瓶?jī)?nèi)。尾氣儲(chǔ)氣罐內(nèi)部設(shè)置有壓力傳感器,當(dāng)壓力傳感器數(shù)值顯示到設(shè)定值時(shí)，電控系統(tǒng)開(kāi)始自動(dòng)操作變頻壓縮機(jī)開(kāi)始工作，把尾氣儲(chǔ)氣罐內(nèi)的氣體壓縮于鋼瓶?jī)?nèi)，當(dāng)尾氣儲(chǔ)氣罐內(nèi)壓力降低至大氣壓值時(shí)，電控系統(tǒng)操控變頻壓縮機(jī)停止工作。

本裝置適用于對(duì)六氟化硫濕度儀、純度儀、分解產(chǎn)物測(cè)試儀等試驗(yàn)儀器的試驗(yàn)尾氣進(jìn)行回收,可以在不影響六氟化硫試驗(yàn)儀器則試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確度的前提下，對(duì)試驗(yàn)過(guò)程中排放的六氟化硫氣體進(jìn)行回收,實(shí)現(xiàn)六氟化硫氣體試驗(yàn)尾氣的,具有便攜性好回收能力強(qiáng)、適用范圍廣(適用于多種六氟化硫氣體試驗(yàn)儀)的優(yōu)點(diǎn)。