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概倫電子噪聲測試系統(tǒng)9812系列是半導(dǎo)體行業(yè)業(yè)內(nèi)低頻噪聲測試的“黃金標準”。型號9812DX 作為9812B 和9812D 的增強版，為半導(dǎo)體行業(yè)工藝研發(fā)、器件建模和電路設(shè)計提供了更加完整而又高效的低頻噪聲測試及分析解決方案，可以滿足各種不同工藝平臺下半導(dǎo)體器件和集成電路低頻噪聲測試的需求。
概倫電子噪聲測試系統(tǒng)9812系列是半導(dǎo)體行業(yè)業(yè)內(nèi)低頻噪聲測試的“黃金標準”。型號9812DX 作為9812B 和9812D 的增強版，為半導(dǎo)體行業(yè)工藝研發(fā)、器件建模和電路設(shè)計提供了更加完整而又高效的低頻噪聲測試及分析解決方案，可以滿足各種不同工藝平臺下半導(dǎo)體器件和集成電路低頻噪聲測試的需求。
9812DX 作為單一完整的低頻噪聲測試系統(tǒng)，支持全面的半導(dǎo)體器件種類在多種測試條件下的高精度噪聲測試，提供了很高的晶圓級噪聲測試精度和測試帶寬，該型號的測試精度較之前的9812D 提高了一個數(shù)量級，測試噪聲電流精度低至10-27A2/Hz，其測試能力覆蓋非常廣泛，是市面少有的從10Ω到10MΩ 可同時覆蓋高阻抗器件和低阻抗器件測試能力的設(shè)備。
針對半導(dǎo)體工藝制程節(jié)點特別是FinFET 工藝下對低頻噪聲測試需求“爆炸式”增長的挑戰(zhàn)，通過軟硬件創(chuàng)新設(shè)計，9812DX 不但使典型噪聲測試速度提高至一個偏置條件僅需10s，還將測試電壓提高到200V 從而使得適用應(yīng)用場景更加廣泛。該系統(tǒng)可在短時間內(nèi)獲得更加精確可信的測試數(shù)據(jù)，另外還可以通過并行測試架構(gòu)解決方案以及協(xié)同F(xiàn)S-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)等方式大幅度的提高了測試效率和吞吐量。
目前，9812DX 已被眾多半導(dǎo)體代工廠所采用，繼9812B/D 后成為低頻噪聲測試領(lǐng)域新一代的“黃金標準”，被用于28nm,14nm, 10nm, 7nm 和5nm 等各工藝節(jié)點的工藝研發(fā)和集成電路設(shè)計。
應(yīng)用范圍：
● 已被眾多半導(dǎo)體公司所采用的標準測試系統(tǒng)
● 產(chǎn)品歷史超過十年
功能：
● 1/f 噪聲測試與特性分析、RTN 測試與特性分析
● 任意待測類型，晶圓級高精度和測試帶寬
● 寬電壓、寬電流、寬阻抗測量范圍
系統(tǒng)架構(gòu):
● 系統(tǒng)體系架構(gòu)經(jīng)過行業(yè)認可并不斷完善，可靠性好和精度高
支持并行測試：
● 經(jīng)過業(yè)界客戶嚴苛驗證并認可的在高精度下高測試吞吐率和并行測試能力
| 寬量程 | 器件端電壓和電流: 200V, 200mA |
| 高精度 | DC 電流精度: 10pA、系統(tǒng)噪聲電流精度: <10-27a2> |
| 測試速度 | 典型1/f 噪聲測試速度可達10 秒/bias |
| 抗阻范圍 | 阻抗匹配范圍: 10Ω-10 MΩ Gate/Base 電阻多達17 個選擇 Drain/Collector 電阻多達15 個選 |
| 系統(tǒng)參數(shù) | 電壓放大器: <0.03-10mhz,> 電流放大器: <0.03-1mhz,0.7pa> 可編程偏置濾波器, ESD 保護 內(nèi)置16 位DSA 支持多臺并行測試 |
| RTN測試 | 樣本點960K個 |
9812DX 系列內(nèi)置NoiseProPlus 測量軟件具有強大的低頻噪聲測試和分析功能，該軟件具有下列主要功能:
● 軟件界面友好易操作，同時滿足測試控制、圖形顯示和數(shù)據(jù)分析需求
● 支持1/f 噪聲和RTN 噪聲測試 ，具有專業(yè)的數(shù)據(jù)分析功能
● 測試結(jié)果可導(dǎo)出供用戶后續(xù)分析研究，測試數(shù)據(jù)可直接導(dǎo)入
● 建模軟件BSIMProPlus 和MeQLab 進行噪聲模型提取和特性分析
● 支持多種模式、多種器件在不同偏置下的手動/自動測試
● 支持驅(qū)動Keysight/Keithley 等各型號主流測試儀
● 支持驅(qū)動 Cascade/SUSS/MPI 等各型號Prober 實現(xiàn)手動及全自動測試
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