★ 家在共聚焦顯微鏡上采用３個線型CCD方式, 業(yè)內(nèi)的1200萬畫素（400萬畫素×RGB）的高畫質(zhì)、顏色再現(xiàn)性的圖像；
★ 業(yè)界的掃描速度，120幀/sec的高速掃描；

★ 可以進(jìn)行分別基于R、G、B的圖像信號的表面形狀測定以及形狀解析，進(jìn)一步也可以獲得深焦點(diǎn)圖像（焦點(diǎn)移動記憶方式）；

★ 本裝置在進(jìn)行表面形狀測定時，能夠作到非接觸、非破壞測定，測定精度高、處理速度快，（或在高生產(chǎn)率的條件下）可以實(shí)現(xiàn)高效的測定；

★ L7 除了白光共聚焦掃描以及激光共聚焦掃描功能外，還具有微分干涉、光學(xué)干涉測量以及反射光膜厚測量等功能；

★ 分辨率可達(dá)0.15um；