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ZPT-S大理石隔振光學(xué)平臺(tái)

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ZPT-S大理石隔振光學(xué)平臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：■臺(tái)面材料采用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南青大理石

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ZPT-S大理石隔振光學(xué)平臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■臺(tái)面材料采用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南青大理石，表面精度高，耐腐蝕性強(qiáng)
■內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備優(yōu)異的隔振性能，自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能
■該產(chǎn)品適用于平面度要求高的實(shí)驗(yàn)
技術(shù)指標(biāo)：
■平面度：00級(jí)
■固有頻率：1.0Hz～1.5Hz
■減振效率：x方向＜5Hz時(shí)：86%～92% y方向＜5Hz時(shí)：84%～90%

x方向＜10Hz時(shí)：90%～96% y方向＜10Hz時(shí)：88%～93%

■振幅：< 1.0μm
■重復(fù)定位精度：±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)
（1）氣浮隔振型 裝備地點(diǎn)：舜宇光學(xué)科技集團(tuán)公司 產(chǎn)品規(guī)格：1500*1200*800mm
（2）阻尼隔振型 裝備地點(diǎn)：中山大學(xué)微電子學(xué)院 產(chǎn)品規(guī)格：1500*1200*800mm


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