產(chǎn)品主要特點(diǎn)：

1. 采用直動(dòng)式檢出器，測(cè)量穩(wěn)定

2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性

3. 低測(cè)定力采用

a. 測(cè)定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定

b. 可測(cè)量柔軟性質(zhì)表面

4. 真實(shí)能見(jiàn)度

基本參數(shù)配置：

一、樣品臺(tái)：

1. 樣品臺(tái)尺寸：φ160mm

2. 工件尺寸：φ200mm

3. 工件厚度：52mm

4. 工件重量：2kg

5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)

6. 樣品臺(tái)材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁

7. 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：360°(手動(dòng)粗調(diào))、±5°(微調(diào)，最小約0.5°)

二、傳感器（pick up）：

1. 原理：直動(dòng)式傳感器 （業(yè)界）

2. Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))

4. 測(cè)定力： 10uN ~500uN

5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）

6. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式

7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺(tái)階時(shí))

三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測(cè)量軸)：

1. 移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng))：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.005~20mm/s

4. 線(xiàn)性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重復(fù)誤差：±5um

四、Z軸：

1. 移動(dòng)量：54mm

2. 移動(dòng)速度：max.2.0mm/S

3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

五、Y軸：（手動(dòng)定位用）

1. 移動(dòng)量：25mm（±12.5mm）

六、工件觀(guān)察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率

2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時(shí))

3. 視野：1.2*0.9mm

4. 觀(guān)察方向：右側(cè)斜視

5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）

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