總體規(guī)格特點:

  l 重量:  60kg  

  l 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 

  l 優(yōu)化的人體工學設計，便于工程師長時間舒適的操作。

針座臺面規(guī)格:

  l U型固定臺面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質，平整度：±3μm

載臺規(guī)格：

  l 6英寸真空吸附樣品臺，提供氣源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小真空吸附尺寸0.5mmx0.5mm，真空吸附尺寸150mmx150mm

l 樣品臺X-Y移動平臺，行程150mmx150mm，微調精度為1μm，無回差線性調節(jié)

l 樣品臺Y方向快速推進抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品  

l 樣品臺Z方向微調升降10mm，微調精度為1μm

l 樣品臺水平θ角度調節(jié)范圍0°～360°，并微調±10°，微調精度0.01°

l 樣品臺電學獨立懸空，可接地或加載背柵電壓。

顯微鏡操控規(guī)格:

l 顯微鏡后側有X-Y軸調節(jié)小搖輪，可調節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動，移動范圍50mmX50mm，精度1μm

l 顯微鏡Z軸帶有調焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調焦,細旋鈕方便調焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm

l 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換鏡頭，避免鏡頭切換時撞針。

應用場景：

  l 直流IV/CV測試  

  l Pulse IV測試

  l 阻抗測試

  l 時域分析測試

  l 有源射頻測試

  l 無源射頻/微波測試。