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離子泵的發(fā)展史從上世紀五十年代，由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來，越來越多的新設計和新技術投入使用，其中大部分源自 瓦里安公司，即現(xiàn)在的安捷倫科技。從一臺二極型離子泵，到三極型離子泵，再到Starcell 系列產品乃至世界聞名的VacIon Plus 產品家族等。 VacIon Plus? VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產品家族，包括全系列離子
| 離子泵的發(fā)展史 | |
| 從上世紀五十年代，由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來，越來越多的新設計和新技術投入使用，其中大部分源自 瓦里安公司，即現(xiàn)在的安捷倫科技。從二極型離子泵，到三極型離子泵，再到Starcell 系列產品乃至聞名的VacIon Plus 產品家族等。 |  |
| VacIon Plus | |
? VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產品家族，包括全系列離子泵、 控制電源、可選配件及附件?？蔀楦鞣N應用提供相應解決方案。除標準產品外， 安捷倫科技還為特定應用提供包括電源及相關附件在內的專屬解決方案，以滿足 用戶對起始工作壓強、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標的特殊要求。 ? VacIon Plus 離子泵產品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以 及Starcell 三極型泵在內的全系列產品，以超高真空獲得技術為眾多應用 領域服務。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外，新4UHV 離子泵控制器則 為不同應用提供了更為豐富的選擇。 | |
| 鈦升華復合型離子泵 |
| ? 鈦升華復合型離子泵將兩種抽氣原理合二為一： 鈦升華過程針對活性氣體提供了的抽速，而同時Starcell 離子泵則有效清除如 氬氣等惰性氣體和甲烷等非活性氣體。復合型泵通過額外的法蘭將鈦升華泵源以 及低溫筒集成在泵體當中。安捷倫科技還可針對客戶的特殊需求提供定制產品。 |
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