結構&特點

• 真空腔體為直徑6英寸的石英腔體，易清潔和放入樣品
• 安裝有一個2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉，使所制薄膜達到更好的均勻性
• 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，zui高溫度可達到1700℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品（僅1600℃以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600℃，樣品應直接放在鎢絲籃中）
• 精確控溫：可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

電源

• 電壓:  AC 208 - 220V 50/60Hz , 單相, 50/60Hz
• zui大功率為：500W zui大電流為30A

溫控及加熱源

• 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量和控制（如圖1
• 標準采用S型熱偶：工作溫度為200℃-1500℃
• 可選B型熱電偶：工作溫度為1200℃-1700℃
• 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器：可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖2）
• 也可將儀器轉換到手動調(diào)節(jié)接狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可高達2000℃，可達到對樣品鍍碳等實驗（如圖3）
• 儀器中配有2個鎢絲籃（如圖4）

樣品臺

• 儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm
• 樣品臺可旋轉，轉速為：5rpm
• 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：60mm-100mm

真空計（可選）

• 可選購一數(shù)顯防腐真空計PCG554,測量范圍為：3.8x10^-5-1125Torr

進氣口

• 進氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應氣體，進行反應蒸發(fā)鍍膜
• 進氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量

真空系統(tǒng)（選配）

• 設備上有一KF25接口用于連接真空泵
• zui高真空度可達4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵）
• 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達到10-2Torr
• 真空度達到10^-2torr時，可蒸發(fā)一些貴金屬，如金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機材料，可選購數(shù)顯防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10^-5 to 1125 Torr.)
• 高真空度可達4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵），此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料，如Al. Mg, Li，分子泵上帶有復合真空計（zui高可測量真空度為1.0E-7Torr）
• 可在本公司選購各種真空泵和真空計

進氣接口

• 一Φ6.35卡套接頭，用于向腔體中通入氣體
• 一個調(diào)節(jié)閥安裝在儀器上，用于調(diào)節(jié)進氣流量

耗材

• 標配中有5個氧化鋁坩堝和2個鎢絲籃
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外形尺寸

• 440mm*330mm*520mm

質(zhì)量認證

• CE認證
• 一年質(zhì)保期終身維護

注意事項

• 為了獲得高真空度，可采用以下做法
  （1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗
  （2）抽真空時，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預加熱到500℃，保持2小時
• 此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作，用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料，比如金屬Li等。（可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6）
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• 使用溫度高于1300℃時，保溫時間不可大于1小時，否則會損壞密封圈
• 當腔體的各閥門關閉時，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進行加熱
• 當儀器正在蒸發(fā)材料時，不可打開泄氣閥或關閉真空泵，只有當加熱溫度降至100℃時，才可放氣或關閉真空泵