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在選購勻膠機(jī)時需要考慮哪些問題？
(1)旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，會導(dǎo)致無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時的轉(zhuǎn)速。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，油污可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況。
(3)材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，因?yàn)槌杀镜停蟛糠謩蚰z機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不理想，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。
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第四屆全國光譜大會
展會城市：株洲市展會時間：2025-05-08