Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環(huán)境，通過集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大的操作軟件等配置，使得客戶在使用時無需自行開發(fā)或整合所有模塊，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標(biāo)記、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報(bào)告的全流程任務(wù)，確保檢測結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個工作流程無縫銜接。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案 

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環(huán)境，通過集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大的操作軟件等配置，使得客戶在使用時無需自行開發(fā)或整合所有模塊，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標(biāo)記、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報(bào)告的全流程任務(wù)，確保檢測結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個工作流程無縫銜接，讓客戶聚集于業(yè)務(wù)決策而非技術(shù)細(xì)節(jié)。

實(shí)時測量，提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡可提供多種測量方案，通過搭配自動對焦模組，可實(shí)時采集待測樣品多個維度下的信息。在實(shí)時對樣品表面進(jìn)行特征線性尺寸、角度、圓直徑、矩形邊測量等基礎(chǔ)測量的同時，基于嵌入式處理單元搭建模型環(huán)境，從而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實(shí)時處理和模型訓(xùn)練，避免數(shù)據(jù)傳輸或云端引入的延遲來進(jìn)行實(shí)時二維材料層數(shù)識別或者光學(xué)元器件的自動分揀，最終根據(jù)客戶導(dǎo)入的報(bào)告體系，生成最終的檢測報(bào)告。

 延續(xù)蔡司品質(zhì)，歷經(jīng)百年的光學(xué)質(zhì)量

整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢，實(shí)現(xiàn)更好的光學(xué)成像效果 提供明場、暗場、DIC、偏光以及熒光等多種方式來對樣品進(jìn)行觀察和檢測。

偏光（a）

偏光（b）

暗場

明場

熒光檢測（a）

熒光檢測（b）

DIC(a)

DIC(b)

豐富的物鏡選項(xiàng)

蔡司物鏡提供的光學(xué)性能，通過高分辨率圖像顯示微小特征結(jié)構(gòu)，無論是材料紋理還是結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，都能精準(zhǔn)呈現(xiàn)。 復(fù)消色差物鏡在消色差的同時，保證在400-700nm內(nèi)有更高透過率，并且通過更高的數(shù)值孔徑實(shí)現(xiàn)更高的空間分辨率，適合高精度量測任務(wù)。