缺陷標(biāo)記 主動(dòng)對(duì)焦 晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動(dòng)檢測(cè)方案。

缺陷標(biāo)記 主動(dòng)對(duì)焦 晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡主要參數(shù)：

1.XY手動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

8吋晶圓XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)模組

XY運(yùn)動(dòng)軸精度：≤2 μm

行程：205 mm * 205 mm

XY運(yùn)動(dòng)軸帶離合器手柄，可快速移動(dòng)

2.Z軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)

Z軸同時(shí)配備電傳手輪和碼盤

Z軸微調(diào)精度：≤1 μm

行程：≥36 mm

3.物鏡模組

采用蔡司原裝的手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡，EPN半復(fù)消色差物鏡以及EPA復(fù)消色差物鏡

4.光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

5.晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺(tái)（可兼容4英寸，6英寸和8吋晶圓片）

保留透射光路，晶圓載物臺(tái)可拆卸，支持液晶面板的檢測(cè)功能

6.成像觀察模組

適配蔡司的Axiocam系列相機(jī)，?？低曄盗邢鄼C(jī)

適配蔡司的目鏡（選配）

提供明場(chǎng)/暗場(chǎng)的觀察方式，可選配微分干涉，熒光和偏光的觀察方式

7.遠(yuǎn)程控制手柄

物鏡切換裝置按鈕

照明光光強(qiáng)控制按鈕，并且可以隨物鏡/觀察方式自動(dòng)調(diào)節(jié)當(dāng)前光強(qiáng)

反射照明和透射照明切換按鈕

電傳Z軸聚焦旋鈕，XY運(yùn)動(dòng)軸遙感

缺陷標(biāo)記和主動(dòng)對(duì)焦快速確定按鈕

8.主動(dòng)對(duì)焦模組

可兼容主動(dòng)對(duì)焦模組，實(shí)現(xiàn)50×物鏡下對(duì)被觀察的實(shí)時(shí)對(duì)焦功能

9.缺陷標(biāo)記模組

可兼容缺陷標(biāo)記模組，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品缺陷部分進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)記 晶圓搬運(yùn)模組

10.晶圓搬運(yùn)模組

可兼容晶圓搬運(yùn)模組，實(shí)現(xiàn)晶圓片的自動(dòng)上下料

缺陷標(biāo)記 主動(dòng)對(duì)焦 晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡為半導(dǎo)體制造、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動(dòng)檢測(cè)方案